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厦门理工学院连水养老师课题组使用我司的环戊二烯铟前驱体，通过氧气加等离子体原子层沉积方法，沉积了氧化铟薄膜，相关成果发表在Vacuum期刊中，祝贺连老师！

时间：2022-05-27